原料空气经空气压缩机压缩后进入后级储气罐，大多数油、液态水和灰尘粘附在容器壁上，流向罐底，并定期从排污阀排出，其中一些会随气流进入压缩空气净化系统。

空气净化系统由一个冷干燥器、三个不同精度的过滤器和一个除油器组成。通过冷冻除湿和过滤，将压缩空气中的液态水、油和粉尘从粗到细过滤，使压缩空气的压力露点降至2～10℃，含油量降至0.001ppm，粉尘过滤至0.01μm，之后进入PSA氮气发生器的原料气洁净。

净化空气分别通过两条路径进入两个吸附塔，通过制氮机上气动阀的自动切换，交替吸附和解吸。在此过程中，空气中的大部分氮气与一小部分氧气分离，富氧空气被排空。氮气在塔顶聚集，通过管道输送至后期氮气储存罐，然后通过流量计进入用气点。

高纯制氮机的总体性能：

a、整个系统设计的合理性；

b、碳分子筛的填充工艺和压制方法；

c、控制阀的使用寿命长；

d、研发、制造经验和用户绩效；从成本方面考虑：整个系统一次性投资，投入的成本都低，真正做到性价比超高。另外：氮气发生器是集机、电、仪于一体的高科技产品，设备的稳定性在运行中尤为重要，它也是影响氮气发生器稳定性的因素之一。